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光学系统应用·开发

扫描光学系统和聚光光学系统

2022-05-26 11:06| 发布者: | 查看: |

无掩模光刻,一般根据CAD数据进行直描加工,根据扫描方法不同,可分为扫描光学系统和聚光光学系统。(也有两者结合的混合型)

 

扫描光学系统

聚光光学系统

扫描方法

振镜扫描

平台扫描

扫描速度

高速

低速

扫描区域

聚光方法

fθ透镜

物镜

光斑尺寸

数10μ 〜 数100μ

亚微米 〜 数10μ

焦点深度

 

扫描系统

聚光系统(附观察系统)

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