TADC-252WSRPA西格玛光机XY轴纳米手动滑台，通过在XY轴手动平台本体上加装压电驱动器来实现20nm以下的精密微调，适用于需要高分辨率定位机能的手动平台组件或系统。

TADC-252WSRPA西格玛光机XY轴纳米手动滑台

TADC-252WSRPA台面尺寸25x25mm，无需对手动纳米平台操作箱进行设定即可进行微调，可同时使用旋钮和微分头进行微调和粗调，互不影响。

TADC-252WSRPA参数指标：

主要材料　　　　　铝合金

导轨形式　　　　　球型导轨

行程/周　　　　　　0.5mm

粗调行程　　　　　±3mm

微调行程　　　　　25μm以上

微调分辨率　　　　20nm以下

移动精度/直线度　　3μm

平行度　　　　　　60μm

移动平行度　　　　20μm

直交度　　　　　　10μm

微分头的安装位置　侧面

微分头小读数　　0.01mm

大承载力矩/俯仰　1.9N·m

大承载力矩/偏摆　1.9N·m

大承载力矩/转动　1.9N·m

扭矩刚度/俯仰　　　4.5″/N·cm

扭矩刚度/转动　　　4.5″/N·cm

自重　　　　　　　0.14㎏

承载能力　　　　　39.2N（4.0kgf）

表面处理　　　　　黑色氧化

信息

·微调需要通过纳米平台手动操作箱(PASC)来进行。手动纳米平台附有一条用于连接纳米平台手动操作箱的2m长电缆。

注意

·安装平台时，一定要注意不要碰撞微分头的对侧挡板，以防对压电驱动机构造成破坏。

·关掉纳米平台手动操作箱(OASC)电源后，压电微调位置会发生变化。