评估微米级光学图像时，有必要考虑衍射效应。在光学投影系统中，通过将零级和一级入射光引入透镜光学系统，可以获得物体的完美图像。现在，乐虎游戏考虑在入射角θ1引入平行光的情况，如图1所示。

图1 透镜L的光学分辨率

零级光直接进入，物体宽度d在透镜表面的光程差为零。另一方面，一阶衍射光以θ2角，光程长度为Δl进入透镜：

一级衍射的条件是光程长度等于曝光光的波长λ。因此:

另一方面，零级和一级衍射光进入透镜表面的大角度θ1表示为:

在这种情况下，零级和一级衍射光都完全进入透镜直径L。因此，

其中f是透镜的焦距，θ是给出透镜半径L的角度。sinθ称为数值孔径NA（空气折射率为1）。因此，从方程式（1）到（3），给出

其中d给出了图像形成的限制条件。因此，d必须是分辨率R。然后，R用以下方程式表示，方程（6）称为瑞利极限。

其中K是一个工艺参数，其理论极限值为0.25，通常处于0.3-0.4之间。

NA为数值孔径，描述了透镜收光锥角的大小，用以衡量该系统能够收集的光的角度范围，决定着透镜收光能力和空间分辨率。NA越大，收集到的光越多，分辨率越高。

文章来源：光刻人笔记